Calibration of the Deflection Field of the Lithograph Using SEM Mode

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F04%3APU41513" target="_blank" >RIV/00216305:26220/04:PU41513 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Calibration of the Deflection Field of the Lithograph Using SEM Mode

Original language description

A new method for the calibration of geometric distortion of deflection field is presented. This method uses a regime of scanning electron microscope (SEM), which was added to electron beam lithographs BS600 and BS601 in project ELITO. The main advantageof this method was the reduction of the time required to calibrate the lithograph.

Czech name

Kalibrace vychylovacího pole litografu využitím režimu REM

Czech description

Článek představuje novou metodu kalibrace vychylovacího pole elektronového litografu BS600 a BS601 upraveného v rámci projektu Elito s využitím režimu rastrovacího elektronového mikroskopu. Hlavním přínosem této metody je zkrácení doby kalibrace.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

10. konference EEICT

ISBN

80-214-2636-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

5

Pages from-to

570-574

Publisher name

VUT v Brně

Place of publication

Brno

Event location

Brno

Event date

Jun 29, 2004

Type of event by nationality

CST - Celostátní akce

UT code for WoS article

—