Improving of industrial process of monocrystalline tungsten wire
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F04%3APU46273" target="_blank" >RIV/00216305:26220/04:PU46273 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Improving of industrial process of monocrystalline tungsten wire
Original language description
This paper covers improving of industrial process of monocrystalline tungsten wire. For this industrial process was created new device for analyzing and controlling of optimal monocrystalline tungsten wire etching process. Main function of this new device is to drive position system, measure etching current and temperature and monocrystalline tungsten wire etching process.
Czech name
Zlepšení výrobního procesu monokrystalického wolframového drátu
Czech description
Článek se zabývá zlepšením výrobního procesu monokrystalického wolframového drátu, který se používá jako katoda pro elektronový litograf. Pro tento výrobní proces bylo vytvořeno nový elektronický systém pro řízení tohoto výrobního procesu. Článek se zabývá popisem tohoto zařízení, jeho možnostmi a výsledném efektu na výrobní proces.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Socrates Workshop 2004. Intensive Training Programme in Electronic System Design. Proceedings.
ISBN
80-214-2818-X
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
5
Pages from-to
71-75
Publisher name
Technological Institute of Crete, Greece
Place of publication
Greece
Event location
Rožnov pod Radhoštěm, hotel RELAX
Event date
Jun 9, 2004
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—