Unit for automatic local chemical and electrochemical depositions
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F08%3APR23573" target="_blank" >RIV/00216305:26220/08:PR23573 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Zařízení pro automatické lokální chemické a elektrochemické depozice
Original language description
Zařízení umožňuje lokální (elektro-)chemické depozici tenkých vrstev a nanostruktur na tenkovrstvých mikrosystémech hlavně na senzorech. Poziční jednotka provádí depozice na přesné pozici. Čerpadlo umožňuje výměnu depozičního roztoku v depoziční hlavě.
Czech name
Zařízení pro automatické lokální chemické a elektrochemické depozice
Czech description
Zařízení umožňuje lokální (elektro-)chemické depozici tenkých vrstev a nanostruktur na tenkovrstvých mikrosystémech hlavně na senzorech. Poziční jednotka provádí depozice na přesné pozici. Čerpadlo umožňuje výměnu depozičního roztoku v depoziční hlavě.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
CG - Electrochemistry
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/1QS201710508" target="_blank" >1QS201710508: Impedimetric chemical microsensors with nanomachined surface of electrodes</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
lokální depozice
Numerical identification
—
Technical parameters
přesnost poziční jednotky 1um čerpadlo od 0,1mL do 10mL senzor přítlaku do 23 kg programovatelný zdroj s měřáky boroskop s kamerou pro nastavení výchozího bodu
Economical parameters
vývoj 1 mil. Kč, know-how 1mil Kč
Application category by cost
—
Owner IČO
00216305
Owner name
Ústav mikroelektroniky
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Web page
—