Deposition of Carbon Nanotubes in Microwave Torch at Atmospheric Pressure

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F08%3APU77657" target="_blank" >RIV/00216305:26220/08:PU77657 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Deposition of Carbon Nanotubes in Microwave Torch at Atmospheric Pressure

Original language description

Carbon nanotubes are new material with unique electrical and mechanical properties. Most of these properties of carbon nanotubes depend on their diameters and chiralities. The depositions were carried out on silicon single crystal (Si) wafer of the orientation <100> doped by phosphorus. Substrates were coated with a thin iron catalytic layer which was vacuum-evaporated to a thickness in the range of 10 nm into the size of 5x5 mm2. Using methane as carbon resource, hydrogen as carrier, carbon nanotubes were synthesized by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) at atmospheric pressure. Samples were analyzed by scanning electron microscopy (SEM).

Czech name

Depozice uhlíkových nanotrubic v mikrovlnném výboji za atmosférického tlaku

Czech description

Uhlíkové nanotrubice jsou novým materiálem s vynikajícími elektrickými a machanickými vlastnostmi. Většina těchto vlastností závisí na jejich průměru a chiralitě. Depozice nanotrubic byly prováděny na křemíkovém monokrystalickém (Si) waferu s orientací <100>, který byl dotován fosforem. Na substráty byla vakuově napařena vrstva katalytického železa o rozměrech 5x5 mm2 a tlošťky 10 nm. Uhlíkové nanotrubice byly připraveny pomocí metody plasmochemické depozice z plynné fáze (PECVD) v mikrovlném výboji zaatmosférického tlaku. Při této přípravě nanotrubic sloužil metan jako zdroj uhlíku a vodík celkově stabilizoval proces přípravy. Vzorky byly poté analyzovány pomocí skenovací elektronové mikroskopie (SEM).

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/2A-1TP1%2F143" target="_blank" >2A-1TP1/143: Research of novel mechatronic MEMS structures for pressure measurements</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Electronic Devices and Systems EDS'08 IMAPS CS International Conference 2008

ISBN

978-80-214-3717-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

4

Pages from-to

—

Publisher name

Ing. Zdeněk Novotný, CSc.

Place of publication

Brno

Event location

Brno

Event date

Sep 10, 2008

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—