Workplace for CNT deposition using acetylene under low pressure
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F13%3APR27223" target="_blank" >RIV/00216305:26620/13:PR27223 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=71" target="_blank" >http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=71</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Depoziční pracoviště pro CNT pomocí acetylénu za sníženého tlaku
Original language description
Pracoviště pro depozici uhlíkových nanotrubic pomocí rozkladu acetylenu za sníženého tlaku se skládá z rotační a difúzní vývěvy, skleněné komory a vyhřívaného držáku vzorku. Do komory je skrz průchodky přiveden acetylén, který slouží jako zdroj uhlíku pro následnou tvorbu uhlíkových nanotrubic. Celý proces probíhá tak, že na křemíkový substrát je přes masku napařen katalyzátor (např. kobalt či železo). Vzorek je poté umístěn do komory na vyhřívaný držák. Po vyčerpání na požadovaný tlak je na zahřátý vzorek puštěn acetylen přesně definovaným průtokem. V místě napařeného katalyzátoru pak vyrostou vertikálně zarovnané nanotrubice.
Czech name
Depoziční pracoviště pro CNT pomocí acetylénu za sníženého tlaku
Czech description
Pracoviště pro depozici uhlíkových nanotrubic pomocí rozkladu acetylenu za sníženého tlaku se skládá z rotační a difúzní vývěvy, skleněné komory a vyhřívaného držáku vzorku. Do komory je skrz průchodky přiveden acetylén, který slouží jako zdroj uhlíku pro následnou tvorbu uhlíkových nanotrubic. Celý proces probíhá tak, že na křemíkový substrát je přes masku napařen katalyzátor (např. kobalt či železo). Vzorek je poté umístěn do komory na vyhřívaný držák. Po vyčerpání na požadovaný tlak je na zahřátý vzorek puštěn acetylen přesně definovaným průtokem. V místě napařeného katalyzátoru pak vyrostou vertikálně zarovnané nanotrubice.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Others
Publication year
2013
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
CNT-CVD
Numerical identification
—
Technical parameters
Funkční vzorek byl na základě získaných poznatků zkonstruován a ověřen. Je využíván na pracovišti řešitele LabSensNano (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika) Elektrická 4 pinová průchodka, vyhřívaný držák vzorku, nerezová trubice pro přívod acetylenu zakončená tryskou, difúzní a rotační vývěva
Economical parameters
Vývoj: 40 tis, Knoh-how: 50 tis. Kč
Application category by cost
—
Owner IČO
00216305
Owner name
Chytré nanonástroje
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Web page
—