MEMS cantilever resonator for sensor applications

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F15%3APR28416" target="_blank" >RIV/00216305:26620/15:PR28416 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=69" target="_blank" >http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=69</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
MEMS jazýčkový rezonátor pro senzorické aplikace
Original language description
Jedná se o MEMS gravimetrický převodník tvořený piezoelektrickým nosníkovým rezonátorem buzeným střídavým napětím na jeho resonanční kmitočet. Piezoelektrikum je tvořeno tenkou vrstvou nitridu hlinitého (AlN). Rozměry jazýčků vytvořených na křemíkovém substrátu s SiO2 pasivační vrstvou jsou 200 x 800 um. Spodní elektrodu tvoří vhodně orientovaná vrstva titanu. Vrchní elektroda je tvořena zlatem. Citlivá vrstva se nanáší na konec jazýčku. Pro detekci plynů, vlhkosti, apod. lze například použít různé polymerní materiály nebo oxidy kovů.
Czech name
MEMS jazýčkový rezonátor pro senzorické aplikace
Czech description
Jedná se o MEMS gravimetrický převodník tvořený piezoelektrickým nosníkovým rezonátorem buzeným střídavým napětím na jeho resonanční kmitočet. Piezoelektrikum je tvořeno tenkou vrstvou nitridu hlinitého (AlN). Rozměry jazýčků vytvořených na křemíkovém substrátu s SiO2 pasivační vrstvou jsou 200 x 800 um. Spodní elektrodu tvoří vhodně orientovaná vrstva titanu. Vrchní elektroda je tvořena zlatem. Citlivá vrstva se nanáší na konec jazýčku. Pro detekci plynů, vlhkosti, apod. lze například použít různé polymerní materiály nebo oxidy kovů.

Project
<a href="/en/project/ED1.1.00%2F02.0068" target="_blank" >ED1.1.00/02.0068: Central european institute of technology</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2015
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
MEMS RES 01
Numerical identification
—
Technical parameters
Funkční vzorek byl na základě návrhu zkonstruován a ověřen. Je využíván na pracovišti řešitele LabSensNano (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika). Napájení: AC regulovatelný napěťový zdroj 0-20 V Maximální amplituda AC vstupního napětí: 20 V Testované resonanční frekvence: do 80 MHz Průrazné napětí: DC = 50 V, AC = 25 V Rozměry substrátu: Pouzdro: TO-8
Economical parameters
Vývoj a realizace 30 tis. Kč, know-how 50 tis. Kč
Application category by cost
—
Owner IČO
00216305
Owner name
Středoevropský technologický institut VUT
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)