Functional sample of a FIB-SEM system for $D STEM applications

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F01733214%3A_____%2F23%3AN0000001" target="_blank" >RIV/01733214:_____/23:N0000001 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Funkční vzorek zařízení FIB-SEM umožňující 4D STEM analýzy

Original language description

Prvními proof of concept testy s použitím MiniPix detektoru upevněného na stolku mikroskopu byly stanoveny základní požadavky na geometrii a konstrukci detektoru. Po oživení vlastního detektoru mimo mikroskop byl funkční vzorek detektoru sestaven a instalován na mikroskop MAGNA (SEM, bez iontového tubusu), kde proběhly ověřovací testy funkčnosti. Funkčnost detektoru byla ověřena na standardních kalibračních vzorcích firmy Agar. S využitím AdcaScope API pro ovládání detektoru a TESCAN SharkSEM pro ovládání SEM byly vytvořeny pythonovské skripty pro akvizici difrakčních dat rastrovaného zorného pole vzorku. Byla použita pomalá softwarová synchronizace a vyzkoušen framový i data driven mód. K rekonstrukci obrazových dat sloužily vlastní skripty, současně byla data exportována do vhodného formátu a zpracována ve volně dostupných programech (LiberTEM, pixStem), čímž byly ověřeny požadavky na formát ukládaného 4D datového balíku. Experimenty potvrdily nezbytnost hardwarové synchronizace (rychlost akvizice dat, stabilita sytému). Funkční vzorek detektoru byl následně přesunut na mikroskop AMBER, čímž vznikl funkční vzorek systému FIB-SEM (Ga+ iontový svazek) s detektorem pro 4D STEM aplikace. Zde již byl detektor umístěn v cílové geometrii, umožňující analýzu vyřezané lamely.

Czech name

Funkční vzorek zařízení FIB-SEM umožňující 4D STEM analýzy

Czech description

—

Type

G_funk - Functional sample

CEP classification

—

OECD FORD branch

21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Project

<a href="/en/project/FW06010396" target="_blank" >FW06010396: Four-dimensional scanning transmission electron microscopy in a FIB-SEM isntrument</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2023

Confidentiality

U - Předmět řešení projektu je utajovanou skutečností podle zvláštních právních předpisů nebo je skutečností, jejíž zveřejnění by mohlo ohrozit činnost zpravodajské služby. Údaje o projektu jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné

Internal product ID

MAGNA 117-0086

Numerical identification

117-0086

Technical parameters

Během projektu bude funkční vzorek využívan k provádění validačních měření a modifikaci jejich parametrů. Na základě výsledků těchto měření budou finalizována specifikace finálního prototypu a také potřebné modifikace pracovního postupu.Po oživení vlastního detektoru mimo mikroskop byl funkční vzorek detektoru sestaven a instalován na mikroskop MAGNA (SEM, bez iontového tubusu), kde proběhly ověřovací testy funkčnosti Funkční vzorek detektoru byl následně přesunut na mikroskop AMBER, čímž vznikl funkční vzorek systému FIB-SEM (Ga+ iontový svazek) s detektorem pro 4D STEM aplikace. Zde již byl detektor umístěn v cílové geometrii, umožňující analýzu vyřezané lamely.

Economical parameters

Produktová řada FIB-SEM systémů už několik let představuje cca 20% z tržeb společnosti TESCAN. Zařízení FIB=SEM se představuje nezbytnou techniku v oblastí materiálové vědy (např. pro přípravě vzorků), pro dalsí analýzy jako např. TEM zobrazování, ale také je součástí základního vybavení sofistikovné výroby v oblasti mikroelektroniky. Předpokládáme, že výstup projektu bude součástí až 15 prodaných ks v roce 2029 a bude jedním z klíčových produktů, které pomohou dosáhnout obratu až 14 mil dolarů. Samotný navrhovaný produkt však bude součástí již existujícího SEM a FIB-SEM řešení, a je tedy zahrnutý v ceně za tato řešení.

Application category by cost

—

Owner IČO

17774713

Owner name

TESCAN GROUP a.s.

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

O - Doposud nevyužívaný výsledek

Licence fee requirement

—

Web page

—