3288 Methodological procedure - FIB-SEM tomography - 3D imaging of microstructure

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F26722445%3A_____%2F19%3AN0000157" target="_blank" >RIV/26722445:_____/19:N0000157 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Metodický postup - FIB-SEM tomografie - 3D zobrazení mikrostruktury
Original language description
Metodický postup popisuje přípravu a průběh 3D zobrazení mikrostruktury s využitím FIB-SEM tomografie. Jako příklad byl zvolen monokrystal Si s implantovanými strukturami Pt. Po akvizici 3D tomografických dat pomocí FIB-SEM byla provedena rekonstrukce těchto struktur pomocí SW FIJI. FIB-SEM tomografie může být využita pro studium lokálních nehomogenit v materiálech, zejména pokud chceme mít informaci o jejich rozložení v prostoru.
Czech name
Metodický postup - FIB-SEM tomografie - 3D zobrazení mikrostruktury
Czech description
Metodický postup popisuje přípravu a průběh 3D zobrazení mikrostruktury s využitím FIB-SEM tomografie. Jako příklad byl zvolen monokrystal Si s implantovanými strukturami Pt. Po akvizici 3D tomografických dat pomocí FIB-SEM byla provedena rekonstrukce těchto struktur pomocí SW FIJI. FIB-SEM tomografie může být využita pro studium lokálních nehomogenit v materiálech, zejména pokud chceme mít informaci o jejich rozložení v prostoru.

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2019
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)