18" hot zone design
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F26821532%3A_____%2F08%3A%230000014" target="_blank" >RIV/26821532:_____/08:#0000014 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Design 18" topné zóny
Original language description
Výkresová dokumentace 18" topné zóny (pro křemenný kelímke průměru 450 mm). Odpovídající simulace procesu růstu krystalu a postupy růstu krystalu.
Czech name
Design 18" topné zóny
Czech description
Výkresová dokumentace 18" topné zóny (pro křemenný kelímke průměru 450 mm). Odpovídající simulace procesu růstu krystalu a postupy růstu krystalu.
Classification
Type
X - Unclassified
CEP classification
JP - Industrial processes and processing
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/FI-IM2%2F131" target="_blank" >FI-IM2/131: *Research and development of advanced silicon wafer for sub-micron technologies.</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů