PB3 Application Notes for Xe Plasma FIB-SEM application in semiconductor industry
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F26821532%3A_____%2F21%3AN0000010" target="_blank" >RIV/26821532:_____/21:N0000010 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
PB3 Aplikační listy pro použití zařízení Xe Plasma FIB-SEM pro polovodičový průmysl
Original language description
Aplikační listy ve formě prospektu obsahujíúvod do problematiky vytyčující požadavky aplikace, postup, kterým lze s použitím tohoto nového přístroje požadavků dosáhnout a nakonec výsledky (obrázky, spektra atd.), kterých se s použitím daných technik dosáhlo. Výsledek přímo podpoří komercializaci vyvinutého řešení a umožní kvalifikace nových metod v polovodičovém průmyslu.
Czech name
PB3 Aplikační listy pro použití zařízení Xe Plasma FIB-SEM pro polovodičový průmysl
Czech description
Aplikační listy ve formě prospektu obsahujíúvod do problematiky vytyčující požadavky aplikace, postup, kterým lze s použitím tohoto nového přístroje požadavků dosáhnout a nakonec výsledky (obrázky, spektra atd.), kterých se s použitím daných technik dosáhlo. Výsledek přímo podpoří komercializaci vyvinutého řešení a umožní kvalifikace nových metod v polovodičovém průmyslu.
Classification
Type
O - Miscellaneous
CEP classification
—
OECD FORD branch
20201 - Electrical and electronic engineering
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TE01020233" target="_blank" >TE01020233: Advanced Microscopy and Spectroscopy Platform for Research and Development in Nano and Microtechnologies - AMISPEC</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2021
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů