Optimized fully automated control system for precursor vapour and working gas supply into linear MW systém with plasma channels

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F13%3A%230000036" target="_blank" >RIV/27711170:_____/13:#0000036 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Optimalizovaný řídící plně automatizovaný systém pro dodávku par prekurzorů a pracovních plynů do lineárního MW systému s plazmovými kanály

Original language description

řídící plně automatizovaný systém, sloužící k ovládání a programování jednotlivých kroků samotného technologického cyklu. Je integrován bezpečnostní modul pro správu zařízení s ohledem blokací a vyloučení nevhodných kombinací procesů a samotných bezpečnostních rizik plynoucích z použití procesních plynů v nevhodných koncentracích či vzájemných kombinacích. Systém umožňuje vytváření a sledování historie a databáze jednotlivých pracovních kroků a parametrů samotných technologických procesů s vazbou na dosažené výsledky a trendy. Toto jak v textovém tak grafickém formátu.

Czech name

Optimalizovaný řídící plně automatizovaný systém pro dodávku par prekurzorů a pracovních plynů do lineárního MW systému s plazmovými kanály

Czech description

řídící plně automatizovaný systém, sloužící k ovládání a programování jednotlivých kroků samotného technologického cyklu. Je integrován bezpečnostní modul pro správu zařízení s ohledem blokací a vyloučení nevhodných kombinací procesů a samotných bezpečnostních rizik plynoucích z použití procesních plynů v nevhodných koncentracích či vzájemných kombinacích. Systém umožňuje vytváření a sledování historie a databáze jednotlivých pracovních kroků a parametrů samotných technologických procesů s vazbou na dosažené výsledky a trendy. Toto jak v textovém tak grafickém formátu.

Type

R - Software

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/TA01011740" target="_blank" >TA01011740: Hybrid high-density low-temperature microwave plasma sources in matrix configuration suitable for growth of advanced materials and their (nano) composites on 2D and 3D substrates</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2013

Confidentiality

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID

svcon_pm_swo_2013

Technical parameters

systém umožňující zapálení a kontrolu plazmatického výboje, dávkování prekurzorů, průtoků plynů, MFC, řízení výkonu MW generátoru, modulace plazmy. Je integrován bezpečnostní modul pro správu zařízení s ohledem blokací a vyloučení nevhodných kombinací procesů a samotných bezpečnostních rizik plynoucích z použití procesních plynů v nevhodných koncentracích či vzájemných kombinacích. Systém umožňuje vytváření a sledování historie a databáze jednotlivých pracovních kroků a parametrů samotných technologických procesů s vazbou na dosažené výsledky a trendy. Toto jak v textovém tak grafickém formátu.

Economical parameters

Zavedením Řídícího automatizovaného systému pro dodávku par prekurzorů a pracovních plynů do lineárního MW systému s plazmovými kanály do portfolia produktové softwarové řady očekáváme devítiprocentní narůst objemu prodeje v rámci této produktové řady

Owner IČO

27711170

Owner name

SVCS Process Innovation s.r.o.