Optical and Langmuir Probe Diagnostics of O2/Ar Mixture Plasma Used for the Plasma Oxidation of Metals

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F99%3A00000010" target="_blank" >RIV/44555601:13430/99:00000010 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Optical and Langmuir Probe Diagnostics of O2/Ar Mixture Plasma Used for the Plasma Oxidation of Metals

Original language description

V příspěvku jsou uvedeny experimentální výsledky dosažené při studiu technologií přípravy tenkých vrstev modifikovaných plazmochemickými metodami s důrazem na diagnostiku procesů v plazmatu i diagnostiku vytvořených tenkých vrstev.

Czech name

—

Czech description

—

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

1999

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Le Vide: science, technique et application

ISSN

1266-0167

e-ISSN

—

Volume of the periodical

291

Issue of the periodical within the volume

Suppl.

Country of publishing house

FR - FRANCE

Number of pages

3

Pages from-to

—

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—