The design of electrically heated unit for controlled precursor evaporation for PE CVD device.

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F07%3A%40KMT0108" target="_blank" >RIV/46747885:24210/07:@KMT0108 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/46747885:24210/07:@GKMT023
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
The design of electrically heated unit for controlled precursor evaporation for PE CVD device.
Original language description
The aim of this work is design and realisation electrically heated unit for controlled evaporation for PECVD device. The work contains design description of the evaporation unit and its realisation. Experimental measurement of its characteristics has been conducted in PECVD device to make possible its application in laboratory conditions.
Czech name
Návrh elektricky vyhřívané jednotky pro řízené vypařování prekurzoru pro PE CVD zařízení.
Czech description
Cílem této práce byl návrh a realizace elektricky vyhřívané jednotky pro řízené vypařování pro PECVD zařízení. Experimentální měření jeho charakteristik bylo provedeno v PE CVD zařízení, aby se umožnila jeho aplikace v laboratorních podmínkách device tomake possible its application in lavatory conditions.

Project
<a href="/en/project/GA202%2F05%2F2242" target="_blank" >GA202/05/2242: Investigation of new low temperature atmospheric pressure plasma sources for deposition of thin films</a><br>
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
International Student Conference of Department of Material Science
ISBN
978-80-7372-255-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
28-29
Publisher name
Technical University of Liberec
Place of publication
Liberec
Event location
Liberec
Event date
Oct 9, 2007
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)