Photocatalytic Decomposition of Organic Matter on Titanium Dioxide Film Prepared by PECVD.

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F07%3A%40KMT0118" target="_blank" >RIV/46747885:24210/07:@KMT0118 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Photocatalytic Decomposition of Organic Matter on Titanium Dioxide Film Prepared by PECVD.

Original language description

This work presents a comparison study of photochemicalactivity of titanium dioxide deposited by three differentmethods: by low pressure plasma enhanced chemical vapordeposition (PECVD) capacitive radio frequency (RF)discharge, by atmospheric pressure PECVD barrier torchplasma jet and by low pressure physical vapor deposition(PVD) hollow cathode plasma jet sputtering system. Vaporsof titanium (IV) isopropoxide Ti[OCH(CH3)2]4 were used asgrowth precursors for titanium dioxide films depositon bythe both PECVD methods, whereas titanium hollow cathodenozzle was reactively sputtered in the PVD method. Titaniumdioxide films were studied by X-ray diffraction (XRD) forcrystalline phase analysis and furthermore by measurementof thickness and deposition rate. Allthe systems producefilm with anatase structure. The photochemical activity wastested on decomposition of the Acid orange (AO7). Thefilms also manifest strong microbiological activity, which isdemonstrated on inactivation of bacteria.

Czech name

Fotokatalytický rozklad organické látky na filmu oxidu titaničitého připraveného PECVD.

Czech description

Tato práce prezentuje srovnávací studii fotochemické aktivity oxidu titaničitého vyloučeného třemi různými metodami: nízkotlakou plazmou podporovanou chemickou depozicí z plynné fáze(PECVD), kapacitní radiofrekvenční (RF)výboj, obloukový barierový plazmový atmosferický PECVD a nízkotlakou fyzikální depozicí (PVD) s naprašovacím systémem s dutou katodou. Páry isopropoxidu titaničitého Ti[OCH(CH3)2]4 byly použity jako růstový prekurzor pro vylučování filmu oxidu titaničitého , obě PE CVD metodami, kdežtotitanová dutá katodová tryska byla reaktivně naprašována PVD metodou. Filmy oxidu titaničitého byly studovány rtg. difrakcí (XRD) pro analýzu krystalické fáze a dále měřením tloušťky a depoziční rychlosti. Všechy systémy tvoří filmy s anatasovou strukturou. Fotochemická aktivita byla zkoušena rozkladejm Acid orange (AO7). Filmy též vykazovaly silnou mikrobiologickou aktivitu, která demonstruje inaktivací bakterií.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JK - Corrosion and material surfaces

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/1M0577" target="_blank" >1M0577: Research centre for nanostructures engineering</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Proceedings of the Annual Technical Conference- Society of Vacuum Coaters

ISBN

—

ISSN

0737-5921

e-ISSN

—

Number of pages

4

Pages from-to

117-120

Publisher name

Society of Vacuum Coaters

Place of publication

Louisville

Event location

Louisville

Event date

May 28, 2007

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—