Study of active particles penetration by PECVD method.

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F07%3A%40KMT0126" target="_blank" >RIV/46747885:24210/07:@KMT0126 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Study of active particles penetration by PECVD method.
Original language description
In this work behavior of active particles during process of plasma polymerization by PECVDmethod was investigated. Experimental and theoretical part of the study were carried outsimultaneously.Measurements were taken on the specially constructed closed-slot substrate. Thanks to thissubstrate design, penetration of the active particles during the deposition could be measured.Theoretical part consisted of the mathematical model developement and its implementationas a computer simulation.
Czech name
Studium pronikání aktivních PECVD metodou.
Czech description
V této práci jsme vyšetřovali chování aktivních částic během procesu plazmové polymerace metodou PECVD. Experimentální a praktická část studie byly prováděny současně. Měření proběhla na speciálním úzkoštěrbinovém substrátu.Díky konstrukci tohoto substrátu mohlo být měřeno pronikání aktivních částic během depozice. Teoretická část se skládá z vývoje matematického modelu a jeho implementace počítačovou simulací.

Project
<a href="/en/project/1M0577" target="_blank" >1M0577: Research centre for nanostructures engineering</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
International Student Conference of Department of Material Science
ISBN
978-80-7372-255-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
23-24
Publisher name
Technical University of Liberec
Place of publication
Liberec
Event location
Liberec
Event date
Oct 9, 2007
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)