Study of active particles penetration by PECVD method

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12410%2F07%3A00008074" target="_blank" >RIV/60076658:12410/07:00008074 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Study of active particles penetration by PECVD method
Original language description
In this work behavior of active particles during process of plasma polymerization by PECVD method was investigated. Experimental and theoretical part of the study were carried out simultaneously. Measurements were taken on the specially constructed closed-slot substrate. Thanks to this substrate design, penetration of the active particles during the deposition could be measured. Theoretical part consisted of the mathematical model developement and its implementation as a computer simulation.
Czech name
Studium penetrace aktivních částic metodou PECVD
Czech description
V práci studujeme experimentálně i teoreticky (počítačové simulace) procesy probíhající při polymerizaci metodou PECVD. Měření byla provedena za pomoci speciálně zkonstruovaného substrátu, který umožňuje díky svému uspořádání studovat fyzikální procesy,které se významným způsobem uplatňují při depozici tenkých vrstev. Teoretická část je koncipována jako matematický model, který je následně řešen numerickými metodami.

Project
<a href="/en/project/KAN101120701" target="_blank" >KAN101120701: Nanocomposite films and nanoparticles prepared in low pressure plasma for surface modifications</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)