Experimental and theoretical study of PECVD in model of hollow substrates.

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F07%3A%40KMT0155" target="_blank" >RIV/46747885:24210/07:@KMT0155 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Experimental and theoretical study of PECVD in model of hollow substrates.

Original language description

This work is aimed at experimental and theoretical study of active particles behaviour during polymerization processes in RF plasma discharge in acetylene. In the work there are studied penetration processes of C2H2 radicals into the closed slot that hasbeen specially constructed for the purposes of these experiments. Consequential measurements were taken on the layers deposited by the PECVD method in the substrate slot. The layer's thickness on the substrate surface was measured by the optical profilometer after the deposition process. In order to confirm the experimental results, the problem has been studied by computer simulations, too. Therefore, threedimensional model of the diffusion type has been created and the set of differential equations was solved by the powerful and in the last decade popular finite element method (FEM).

Czech name

Experimentální a teoretická studie PECVD v modelu dutých substrátů.

Czech description

Cílem tohoto článku je experimentální a teoretická studie chování aktivních částic běhen polymerizačních procesů v radiofrekvenčním plazmovém výboji v acetylenu. V půráci se studuje ptroces pronikání C2H2 radikálů do uzavřené štěrbiny speciálně zkonstruované pro účely těchlo experimentů. Tloušťka vrstvy na povrchu substrátu byla měřena optickým profilometrem po depozičním procesu. Aby se potvrdily výsledky experimentů, byl problém též studován počítačovou simulací. Tudíž byl vytvořen trojrozměrný modeldifuzního typu a byla řešena sada diferenciálních rovnic metodou konečných prvků.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JK - Corrosion and material surfaces

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/1M0577" target="_blank" >1M0577: Research centre for nanostructures engineering</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG)

ISBN

978-80-87026-01-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

4

Pages from-to

717-720

Publisher name

Institute of Plasma Physics AS CR

Place of publication

Praha

Event location

Praha

Event date

Jul 15, 2007

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—