The use of scanning probe microscopy for a thin layer quality control

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F13%3A%230005669" target="_blank" >RIV/46747885:24210/13:#0005669 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/46747885:24620/13:#0000242
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Využití mikroskopu rastrující sondou pro kontrolu kvality tenkých vrstev
Original language description
Depozicí tenkých vrstev lze upravovat fyzikální a chemické vlastnosti základního materiálu jako jsou např. tvrdost, korozivzdornost, odolnost abrazi a koeficient tření. Pro velmi přesnou charakterizaci vlastností tenkých vrstev lze s výhodou využít metody mikroskopie rastrující sondy, pomocí kterých lze snadno stanovit 3D topografii, nanotvrdost, elasticitu, adhezi, elektrickou a tepelnou vodivost aj.
Czech name
Využití mikroskopu rastrující sondou pro kontrolu kvality tenkých vrstev
Czech description
Depozicí tenkých vrstev lze upravovat fyzikální a chemické vlastnosti základního materiálu jako jsou např. tvrdost, korozivzdornost, odolnost abrazi a koeficient tření. Pro velmi přesnou charakterizaci vlastností tenkých vrstev lze s výhodou využít metody mikroskopie rastrující sondy, pomocí kterých lze snadno stanovit 3D topografii, nanotvrdost, elasticitu, adhezi, elektrickou a tepelnou vodivost aj.

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
OECD FORD branch
—

Project
<a href="/en/project/ED0005%2F01%2F01" target="_blank" >ED0005/01/01: Centre for nanomaterials, advanced technologies and innovation</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2013
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)