Set of beam splitters coating in specification with parameters of the first beam splitter Rp = 50% ± 3% @248 nm; and second beamsplitter Rp = <0.4; 0.75> and Rs < 1 % at a wavelength of 248 nm and increased transmittance in the region from 630 nm to 670 nm.
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F22%3AN0000005" target="_blank" >RIV/47677023:_____/22:N0000005 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Dělicí vrstvy na substrátech s parametry Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % @248 nm.
Original language description
Realizace děličů světla splňující požadavky odrazivosti a propustnosti na pracovní vlnové délce 248 nm a inspekční vlnové délce v intervalu <630, 670> nm. Vrstvy prvního děliče byly připraveny technologií magnetronového naprašování kombinací materiálů HfO2/SiO2 a splňují specifikaci: propustnost pro p-složku 50 % ± 3 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 50 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách od 630 nm do 670 nm. Vrstvy druhého děliče byly připraveny technologií magnetronového naprašování kombinací materiálů Al2O3/SiO2 a splňují specifikaci průměrná propustnost vyšší než 98,5 %, odrazivost pro p-složku v rozmezí od 0,4 % do 0,75 % a odrazivost pro s-složku menší než 1 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 25 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách 630 nm až 670 nm.
Czech name
Dělicí vrstvy na substrátech s parametry Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % @248 nm.
Czech description
—
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
20506 - Coating and films
Result continuities
Project
<a href="/en/project/FV40328" target="_blank" >FV40328: Realization of layered systems with required spectral dependencies of reflectance and transmittance in the middle ultraviolet spectral range</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2022
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
MEO_DP0026_2022_GFUNK03
Numerical identification
—
Technical parameters
Soubor dělicích vrstev ve specifikaci s parametry prvního děliče Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; druhého děliče Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % na vlnové délce 248 nm a zvýšenou propustností v oblasti od 630 nm do 670 nm připravených technologií reaktivního magnetronového napařování kombinující vrstvy HfO2/SiO2, popř. Al2O3/SiO2.
Economical parameters
Bude použito ve výrobě.
Application category by cost
—
Owner IČO
47677023, 00216224, 00216035,
Owner name
Meopta - optika, s.r.o., Masarykova univerzita, VUT v Brně, Český metrologický institut
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—