Technology of fabrication of beam splitters on wavelength 248 nm by reactive magnetron sputtering technology.

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F22%3AN0000012" target="_blank" >RIV/47677023:_____/22:N0000012 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Ověřená technologie výroby dělicích vrstev na vlnové délce 248 nm

Original language description

Ověřená technologie výroby vrstev procesem reaktivního magnetronového napařování pro vlnovou délku 248 nm. Kombinace vysokoindexových optických materiálů tenkých vrstev HfO2, Al2O3 s nízkoindexovým materiálem SiO2 pro realizaci vysokoreflexních, dále antireflexních a dělicích vrstev v hluboké ultrafialové oblasti. Zahrnuje klíčové požadavky na kvalitu, přípravu a čistotu substrátů, depozičního stroje, deponovaných materiálů a samotný výrobní proces včetně monitorování růstu vrstev. Kombinací těchto faktorů je možné dosáhnout děliče světla o specifikaci: propustnost pro p-složku 50 % ± 3 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 50 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách od 630 nm do 670 nm, dále děliče ve specifikaci průměrná propustnost vyšší než 98,5 %, odrazivost pro p-složku v rozmezí od 0,4 % do 0,75 % a odrazivost pro s-složku menší než 1 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 25 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách 630 nm až 670 nm.

Czech name

Ověřená technologie výroby dělicích vrstev na vlnové délce 248 nm

Czech description

—

Type

Z_tech - Verified technology

CEP classification

—

OECD FORD branch

20506 - Coating and films

Project

<a href="/en/project/FV40328" target="_blank" >FV40328: Realization of layered systems with required spectral dependencies of reflectance and transmittance in the middle ultraviolet spectral range</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2022

Confidentiality

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID

MEO_DP0026_2022_OT04

Numerical identification

—

Technical parameters

Ověřená technologie depozice tenkých optických vrstev pomocí reaktivního magnetronového naprašování pro DUV spektrální oblast 248 nm aplikovaná na děliče světla.

Economical parameters

Bude použito ve výrobě.

Application category by cost

—

Owner IČO

47677023

Owner name

Meopta - optika, s.r.o.

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee requirement

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Web page

—