Technology of fabrication high reflective coating on wavelength 213 nm and 248 nm.

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F21%3AN0000009" target="_blank" >RIV/47677023:_____/21:N0000009 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Ověřená technologie výroby vrstev s vysokou odrazivostí na vlnových délkách 213 nm a 248 nm.
Original language description
Ověřená technologie výroby vrstev procesy elektronového napařování vysokoindexových materiálu Al2O3 pro vlnovou oblast 213 nm a HfO2 pro 248 nm v kombinaci s nízkoindoxovým materiálem SiO2 pro realizaci vysocereflexních, dále antireflexních a dělicích vrstev v hluboké ultrafialové oblasti. Zahrnuje klíčovými požadavky na kvalitu, přípravu a čistotu substrátů, depozičního stroje, deponovaných materiálů a samotný výrobní proces včetně monitorování růstu vrstev. Kombinací těchto faktorů je možné dosáhnout R > 98,5 % zvlášť pro vlnové délky 213 nm a 248 nm.
Czech name
Ověřená technologie výroby vrstev s vysokou odrazivostí na vlnových délkách 213 nm a 248 nm.
Czech description
—

Project
<a href="/en/project/FV40328" target="_blank" >FV40328: Realization of layered systems with required spectral dependencies of reflectance and transmittance in the middle ultraviolet spectral range</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2021
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID
MEO_DP0026_2021_OT3
Numerical identification
—
Technical parameters
Ověřená technologie napařování tenkých optických vrstev pro DUV spektrální oblast 213 nm a 248 nm.
Economical parameters
Bude použito ve výrobě.
Application category by cost
—
Owner IČO
47677023
Owner name
Meopta - optika, s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee requirement
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)