Absolute distance measurements with micrometer resolution using white-light spectral interferograms processed by a phase-locked loop method

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47813059%3A19240%2F04%3A%230002011" target="_blank" >RIV/47813059:19240/04:#0002011 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Absolute distance measurements with micrometer resolution using white-light spectral interferograms processed by a phase-locked loop method

Original language description

A new spectral-domain interferometric method of measuring absolute distances is utilized when the effect of low dispersion in an interferometer is known and the spectral interference fringes are resolved over a wide spectral range. First, processing therecorded spectral interferograms by a phase-locked loop (PLL) method, which is a special simplified version of the general recurrence non-linear data processing method, the unmodulated spectrum, the spectral fringe visibility function and the unwrapped spectral fringe phase function are obtained. Then, knowing the dispersion relation for the material present in the interferometer, the material effective, thickness is determined. Finally, the positions of the interferometer mirror are determined precisely by fitting the recorded spectral interferograms to the theoretical ones knowing all the mentioned spectral functions.

Czech name

Měření absolutní vzdálenosti s mikrometrovým rozlišením pomocí spektrálních interferogramů v bílém světle zpracovaných metodou PLL.

Czech description

Je použita nová interferometrická metoda ve spektrální doméně pro měření absolutních vzdáleností v případě, kdy je efekt nízké disperze interferometru znám a interferenční proužky jsou rozlišitelné přes široký spektrální rozsah. Za prvé, zpracováním záznamů spektrálních interferogramů metodou PLL získáváme nemodulované spektrum, funkci spektrální viditelnosti proužků a fázovou funkci rozvinutých spektrálních proužků. Poté je ze znalosti disperzní relace materiálu v interferometru určena efektiví tloušťka materiálu. Nakonec je ze znalosti zmíněných spektrálních funkcí přesně určena pozice interferenčního zrcadla pomocí fitu zaznamenaných spektrálních interferogramů na teoretické interferogramy.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE)

ISBN

0-8194-5322-6

ISSN

0277-786X

e-ISSN

—

Number of pages

8

Pages from-to

—

Publisher name

SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING

Place of publication

BELLINGHAM, USA

Event location

St Petersburg, RUSSIA

Event date

Jan 1, 2003

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

000221670900008