PREDEPOSITION PROCESS OF THIN LAYERS

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23210%2F06%3A00000004" target="_blank" >RIV/49777513:23210/06:00000004 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
PŘEDDEPOZIČNÍ PROCESY PŘI VÝROBĚ TENKÝCH VRSTEV
Original language description
Tento článek navazuje na předchozí publikace věnující se problematice iontového čištění substrátu před depozicí tenké vrstvy a rozšiřuje svoje zaměření také na ostatní techniky používané při přípravě substrátu na depozici. V článku jsou popsány různé metody čištění substrátu se zaměřením na studia vlivu těchto procesů na výsledné vlastnosti systému tenká vrstva substrát. Článek zatím není souhrnem výsledků experimentů, pouze otevírá náhled do zatím málo analyzované oblasti předdepozičních procesů.
Czech name
PŘEDDEPOZIČNÍ PROCESY PŘI VÝROBĚ TENKÝCH VRSTEV
Czech description
Tento článek navazuje na předchozí publikace věnující se problematice iontového čištění substrátu před depozicí tenké vrstvy a rozšiřuje svoje zaměření také na ostatní techniky používané při přípravě substrátu na depozici. V článku jsou popsány různé metody čištění substrátu se zaměřením na studia vlivu těchto procesů na výsledné vlastnosti systému tenká vrstva substrát. Článek zatím není souhrnem výsledků experimentů, pouze otevírá náhled do zatím málo analyzované oblasti předdepozičních procesů.

Project
<a href="/en/project/FI-IM2%2F054" target="_blank" >FI-IM2/054: *The development and implementation of production of new tools with utilization of the progressive nanofilms and sandwich thin films for tooling of the hard-cutting materials.</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)