Study of mechanical properties of superhard nanostructured thin films
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F06%3A00000298" target="_blank" >RIV/49777513:23520/06:00000298 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Study of mechanical properties of superhard nanostructured thin films
Original language description
The aim of the present work is to investigate the mechanical properties of several nanostructured diamond (NCD) films prepared using microwave PECVD enhanced by RF induced DC self-bias and superhard TiB2 films prepared in Ar atmosphere from stoichiometric TiB2 target using an unbalanced DC magnetron.
Czech name
Studie mechanických vlastností supertvrdých nanostrukturovaných tenkých vrstev
Czech description
Cílem této práce je zjistit mechanické vlastnosti nanostrukturovaných diamantových vrstev (NCD) vytvořených pomocí PECVD a supertvrdých vrstev TiB2 připravených v Ar atmosféře.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JJ - Other materials
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
NANO '06
ISBN
80-214-3331-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
1
Pages from-to
157-157
Publisher name
VUTIUM
Place of publication
Brno
Event location
Brno
Event date
Jan 1, 2006
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—