Oxidation of Sputtered Cu, Zr, ZrCu, ZrO2, and Zr-Cu-O Films during Thermal Annealing in Flowing Air

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000105" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000105 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Oxidation of Sputtered Cu, Zr, ZrCu, ZrO2, and Zr-Cu-O Films during Thermal Annealing in Flowing Air

Original language description

The article deals with oxidation of Cu,Zr,ZrCu,ZrO2, and Zr-Cu-O films during post-deposition thermal annealing in flowing air. The films were deposited using dc unbalanced magnetron from pure or composed target in Ar or an Ar+O2 mixture. The oxidation behavior of the films was characterized by high-temperature thermogravimetry and XRD. Mechanical properties were measured by a microindenter Fischerscope H100. Thermal annealing was carried out over a wide range from 300 to 1300°C. Special attention was devoted to the oxidation of Cu and to the effect of Cu content in Zr-Cu-O films on the oxidation resistance. It was shown that the conversation CuO-Cu2 at 1040°C is a reversible process.

Czech name

Oxidace naprašovaných Cu, Zr, ZrCu, ZrO2 a Zr-Cu-O vrstev během tepelného

Czech description

Článek se zabývá oxidací Cu, Zr, ZrCu, ZrO2 a Zr-Cu-O vrstev během podepozičního žíhání v proudícím vzduchu. Vrstvy byly nadeponovány s použitím nevyváženého dc magnetronu z čistých nebo skládaných terčů v Ar nebo ve směsi Ar+O2. Oxidační chování vrstevbylo charakterizováno pomocí vysokoteplotní termogravimetrie a XRD. Mechanické vlastnosti byly měřeny na mikrotvrdoměru Fischerscope H100. Tepelné žíhání bylo provedeno v širokém rozsahu od 300 do 1300 °C. Zvláštní pozornost byla věnována oxidaci Cu a efektu obsahu Cu v Zr-Cu-O vrstvách na jejich oxidační odolnost. Bylo ukázáno, že přeměna Cu <-> Cu2O při ~1040 °C je vratný proces.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Plasma Processes and Polymers

ISSN

1612-8850

e-ISSN

—

Volume of the periodical

—

Issue of the periodical within the volume

—

Country of publishing house

DE - GERMANY

Number of pages

1

Pages from-to

—

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—