Oxidation of sputtered Cu films during thermal annealing in flowing air

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000149" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000149 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Oxidation of sputtered Cu films during thermal annealing in flowing air
Original language description
The article deals with oxidation of Cu films during post-deposition thermal annealing in flowing air. Cu films were sputtered from a pure Cu target in Ar using dc unbalanced magnetron. The copper oxide films formed during post-deposition thermal annealing were compared with CuOx films sputtered from Cu target in the mixture of Ar and O2. The oxidation behavior of the films was characterized by high-temperature thermogravimetry and X-ray diffraction. Thermal annealing was carried out in a wide range of temperatures from 300 to 1300°C. It was found that the CuO oxide decomposes into Cu2O+O at 1040°C.
Czech name
Oxidace naprášených Cu vrstev během tepelného žíhání v proudícím vzduchu
Czech description
Článek se zabývá oxidací Cu vrstev během podepozičního žíhání v proudícím vzduchu. Cu vrstvy byly naprášeny pomocí dc nevyváženého magnetronu z Cu terčů v Ar atmosféře. Vrstvy oxidů mědi vzniklé během podepozičního tepelného žíhání byly srovnány s CuOx vrstvami naprášenými z Cu terčů ve směsi Ar a O2. Oxidační chování vrstev bylo charakterizováno pomocí vysokoteplotní termogravimetrie a rentgenové difrakce (XRD). Vrstvy byly žíhány v širokém rozsahu teplot od 300 do 1300°C. Bylo zjištěno, že CuO se rozpadá na Cu2O+O za teplot ~ 1040°C.

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
XXVIII International conference on phenomena in ionized gases
ISBN
978-80-87026-01-4
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
711-712
Publisher name
Institute of Plasma Physics AS CR
Place of publication
Prague
Event location
Praha
Event date
Jan 1, 2007
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)