Toughness of hard nanostructured ceramic thin films

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000169" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000169 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Toughness of hard nanostructured ceramic thin films

Original language description

This article reports on the investigation of cracking of hard Zr-Cu-O, Zr-Cu-C, Ti-Cu-C and Si-Me-N magnetron sputtered nanostructured films using microindentation measurements. Main aim of this investigation is to determine the interrelationships between the cracking of film, its structure and mechanical properties and to assess the toughness of thin films. Correlations between the formation of cracks, the mechanical properties of film and substrate, structure of film and macrostress generated in the film during its growth were investigated in detail.

Czech name

Houževnatost tvrdých nanostrukturních keramických tenkých vrstev

Czech description

Tento článek pojednává o výzkumu tvorby trhlin na tvrdých 3-5 &#956;m tlustých Zr-Cu-O, Zr-Cu-C, Ti-Cu-C a Si-Me-N (Me = Ta, Zr, Mo, W) magnetronově naprašovaných nanostrukturních vrstvách za použití mikroindentačních metod měření. Hlavním cílem tohoto výzkumu je zjištění vzájemných závislostí mezi tvorbou trhlin, strukturou a mechanickými vlastnostmi vrstev a taktéž stanovení houževnatosti tenkých vrstev. Detailně byly zkoumány vzájemné korelace mezi tvorbou trhlin, mechanickými vlastnostmi vrstev a substrátu, strukturou vrstev a makropnutím &#61555;, které je tvořeno ve vrstvě během růstu. Bylo zjištěno, že odpor vrstvy ke tvorbě trhlin se zvyšuje se zvyšujícím se poměrem H3f/Ef*2.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Surface and Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Volume of the periodical

—

Issue of the periodical within the volume

—

Country of publishing house

NL - THE KINGDOM OF THE NETHERLANDS

Number of pages

5

Pages from-to

5148

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—