Effect of addition of Cu into ZrOx film on its properties

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F06%3A00000263" target="_blank" >RIV/49777513:23520/06:00000263 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Effect of addition of Cu into ZrOx film on its properties

Original language description

The article reports on the effect of addition of Cu into the ZrO2 film on its structure, physical and mechanical properties. The ZrO2 and Zr-Cu-O films were reactively sputtered using a dc unbalanced magnetron from Zr and ZrCu targets in Ar+O2 mixture atthe substrate temperature Ts=300, 400 and 550 °C and total sputtering gas pressure on steel, Si and glass substrates. The structure of films was chracterized by an X-ray diffraction and mechanical properties. The film brittleness was characterized by the formation of cracks during a diamond indenter impression into it.

Czech name

Vliv přidání Cu do ZrOx vrstvy na její vlastnosti

Czech description

Článek informuje o efektu přidání Cu do vrstev ZrO2 na jejich strukturu, fyzikální a mechanické vlastnosti. Vrstvy byly reaktivně naprašovány použitím dc nevyváženého magnetronu ze Zr terče ve směsi plynů Ar+O2 za tlaku 1 Pa při teplotách substrátu 300,400 a 550 °C z oceli, křemíku a skla. Struktura byla charakterizována rentgenovou difrakcí, mechanické vlastnosti byly měřeny použitím mikrotvrdoměru a houževnatost vrstev byla posuzována vznikem trhlin po indentaci diamantového hrotu. Deponované vrstvyměly krystalickou strukturu a tvrdost 16 GPa.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Surface and Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Volume of the periodical

—

Issue of the periodical within the volume

—

Country of publishing house

NL - THE KINGDOM OF THE NETHERLANDS

Number of pages

9

Pages from-to

6792

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—