Heat flux micro-sensor calibration for energy transport characterisation in low pressure plasma processes

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F04%3A00000066" target="_blank" >RIV/49777513:23640/04:00000066 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Heat flux micro-sensor calibration for energy transport characterisation in low pressure plasma processes

Original language description

An experimental arragement of calibration of a heat flux micro-sensor id described in this paper. From a commercial HFM7-Vattel micro-sensor, calibration parameters don't enable the use of the micro-sensor in the low pressure plasma situation. For plasma

Czech name

Kalibrace mikro-senzoru tepelného toku pro charakteristiku přenosu energie v procesech nízkotlakého plazmatu

Czech description

V příspěvku je popsáno experimentální uspořádání kalibrace mikrosenzoru tepelného toku. Kalibrační konstanty komerčního mikrosenzoru HFM7-Vatell nedovolují jeho použití v nízkotlakém plazmatu. Pro určení přenosu energie z plazmy do substrátu při nízkých

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JP - Industrial processes and processing

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/LN00B084" target="_blank" >LN00B084: Research Centre for New Technologies in the Region of West Bohemia</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Therminic

ISBN

2-84813-036-9

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

3

Pages from-to

257-259

Publisher name

TIMA laboratoire

Place of publication

Grenoble

Event location

Sophia Antipolis

Event date

Sep 29, 2004

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—