Deposition of ZnO:Al for photovoltaic aplications in TF 600 vacuum coating system

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F07%3A00000023" target="_blank" >RIV/49777513:23640/07:00000023 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Deposition of ZnO:Al for photovoltaic aplications in TF 600 vacuum coating system
Original language description
The effect of deposition parameters on structural properties of the aluminium-doped zinc oxide (ZnO:Al) was studied. The ZnO:Al thin films were produced using the BOC Edwards TF 600 vacuum coating system. Exploring different deposition parameters two series of samples were produced that needed characterize the deposition rate of ZnO:Al produced by the RF magnetron sputtering. Properties of interest include biaxial lattice stress, size of the crystallites and the micro-strains.
Czech name
Vytváření transparentních vodivých vrstev ZnO:Al pro fotovoltaické aplikace s využitím depoziční aparatury TF 600
Czech description
Náplní této práce je určení vlivu depozičních parametrů na strukturní vlastnosti transparentních vodivých vrstev ZnO:Al vytvořených s využitím depoziční aparatury TF 600 firmy BOC Edwards. Byla stanovena depoziční rychlost ZnO:Al vrstev vytvořených vysokofrekvenčním magnetronovým naprašováním. Sledovanými vlastnostmi jsou biaxiální napětí, velikost krystalitů a mikronapětí.

Project
<a href="/en/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materials and components for environment protection</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Vákuové technológie - nové trendy vo výskume a aplikáciách
ISBN
978-80-969435-3-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
100-103
Publisher name
Slovenská vákuová spoločnosť
Place of publication
Bratislava
Event location
Štrbské Pleso
Event date
Jan 1, 2007
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)