Optical properties of ZnO:Al thin films deposited on TF600 sputtering system

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F07%3A00000035" target="_blank" >RIV/49777513:23640/07:00000035 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Optical properties of ZnO:Al thin films deposited on TF600 sputtering system
Original language description
Transparent conducting aluminium - doped Zinc oxide (ZnO:Al) thin films were prepared on glass substrates by the BOC Edwards TF 600 vacuum coating system. Deposition was carried out by rf magnetron sputtering at room temperature. Optical properties (integral transmittance and optical band gap) of the ZnO:Al films were investigated in terms of the deposition conditions. The transmittance of these films in the range of 400 – 1000 nm wavelength was mostly over 90 %, the optical band gap decreased with growing thickness.
Czech name
Optické vlastnosti transparentních vodivých vrstev ZnO:Al deponované na naprašovací aparatuře TF600
Czech description
Transparentní vodivé vrstvy ZnO dopované hliníkem (ZnO:Al) byly vytvořené na skleněný substrát vakuovým povlakovacím systémem BOC Edwards TF 600. Depozice byla provedena vysokofrekvenčním magnetronovým naprašováním při pokojové teplotě. Optické vlastnosti (integrální transmitance a optická šířka zakázaného pásu) byly vyšetřované v závislosti na depozičních podmínkách. Integrální transmitance měřených vrstev byla počítána v rozsahu 400 - 1000 nm a přesahovala většinou hodnotu 90%, optická šířka zakázaného pásu klesala s rostoucí tloušťkou vrstvy.

Project
<a href="/en/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materials and components for environment protection</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Vákuové technológie - nové trendy vo výskume a aplikáciách
ISBN
978-80-969435-3-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
3
Pages from-to
116-118
Publisher name
Slovenská vákuová spoločnosť
Place of publication
Bratislava
Event location
Štrbské Pleso
Event date
Jan 1, 2007
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)