Comparison of various experimental techniques for the determination of microstructure of a-Si:H deposited with different hydrogen dilution

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F08%3A00500443" target="_blank" >RIV/49777513:23640/08:00500443 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Comparison of various experimental techniques for the determination of microstructure of a-Si:H deposited with different hydrogen dilution

Original language description

Hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) and polycrystalline hydrogenated silicon are significant materials for thin film microelectronics, optoelectronics and photovoltaics. Thin films prepared from silane diluted with hydrogen in PECVD are characterizedby suppressed light-induced degradation of a-Si:H solar cells. Parameters of solar cells critically depend on electronic and optical properties of the material, which require certain microstructure. The structure (so called "protocrystalline silicon"),deposited in specific conditions presents evolvement from the amorphous to microcrystalline phase, and includes amorphous phase with the short-range order. In this paper, the influence of dilution on microstructural properties is investigated. For this purpose XRD analysis, Raman and FTIR spectrometry give valuable insights into the structural evolution of films.

Czech name

Porovnání experimentálních technik při určování mikrostruktury a-Si:H deponovaného s různým vodíkovým zředěním

Czech description

Polykrystalický a amorfní hydrogenizovaný křemík (a-Si:H)jsou významné materiály pro mikroelektroniku, optoelektroniku a fotovoltaiku. Tenké vrstvy připravené PECVD depozicí ze silanu zředěného vodíkem jsou charakteristické lepší odolností proti světlemindukované degradaci solárních článků na bázi a-Si:H. Parametry solárních článků významně závisí na elektrických a optických vlastnostech materiálů, které vyžadují určitou mikrostrukturu. Struktura tzv. protokrystalický křemík deponovaná při specifickýchpodmínkách představuje vývoj od amorfní k mikrokrystalické fázi a obsahuje amorfní fázi s oblastmi uspořádanými na krátkou vzdálenost. V tomto článku je vyšetřován vliv zředění na mikrostrukturní vlastnosti. Pro tento účel byla použita rtg analýza, Ramanova spektroskopie a FTIR spektrometrie.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materials and components for environment protection</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Proceedings of the 14th international conference on Applied physics of condensed matter

ISBN

978-80-227-2902-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

4

Pages from-to

—

Publisher name

Slovak University of Technology

Place of publication

Bratislava

Event location

Liptovský Ján

Event date

Jun 27, 2008

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—