Proven Technology for the Production of a Thin Film Sensor/Actuator
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F20%3A43961317" target="_blank" >RIV/49777513:23640/20:43961317 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/ot/NTC-OTE-20-005.html" target="_blank" >http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/ot/NTC-OTE-20-005.html</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Ověřená technologie k výrobě tenkovrstvého senzoru/aktuátoru
Original language description
V rámci spolupráce s firmou Krystaly Hradec Králové a.s. byla řešena problematika technologického postupu k výrobě tenkovrstvého piezoelektrického FBAR senzoru určeného na použití v technologických aplikacích nebo v přístrojích. Cílem práce bylo vytvořit vzorek s vrtvou ZnO, která vykazuje silnou preferenční orientaci a vysokou resistivitu. Těchto vlastností bylo doženo optimalizací depoziční teploty a oxidových podmínek během přípravy vrstev, které ovlivňují dominantní bodové defekty ve vrstvě. Dominantní defekty za daných podmínek a jejich elektrické vlastnosti byly určeny z kvantově mechanických výpočtů. Tyto vhodné defekty snižují množství volného náboje ve vrstvě a tím zásadně snižují její vodivost. Dále byly optimalizována příprava izolační nevodivné vrstvy a elektrody, aby nedocházelo ani ke stínění buzeného elektrického napětí volným nábojem z elektrod.
Czech name
Ověřená technologie k výrobě tenkovrstvého senzoru/aktuátoru
Czech description
V rámci spolupráce s firmou Krystaly Hradec Králové a.s. byla řešena problematika technologického postupu k výrobě tenkovrstvého piezoelektrického FBAR senzoru určeného na použití v technologických aplikacích nebo v přístrojích. Cílem práce bylo vytvořit vzorek s vrtvou ZnO, která vykazuje silnou preferenční orientaci a vysokou resistivitu. Těchto vlastností bylo doženo optimalizací depoziční teploty a oxidových podmínek během přípravy vrstev, které ovlivňují dominantní bodové defekty ve vrstvě. Dominantní defekty za daných podmínek a jejich elektrické vlastnosti byly určeny z kvantově mechanických výpočtů. Tyto vhodné defekty snižují množství volného náboje ve vrstvě a tím zásadně snižují její vodivost. Dále byly optimalizována příprava izolační nevodivné vrstvy a elektrody, aby nedocházelo ani ke stínění buzeného elektrického napětí volným nábojem z elektrod.
Classification
Type
Z<sub>tech</sub> - Verified technology
CEP classification
—
OECD FORD branch
20501 - Materials engineering
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TN01000015" target="_blank" >TN01000015: National Centre of Competence ENGINEERING</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2020
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
NTC-OTE-20-005
Numerical identification
NTC-OTE-20-005
Technical parameters
Ověřená technologie byla oveřena pomocí vytvořeného funkčního modelu FBAR rezonátoru s naprašovanou ZnO multivrstvou na křemíkovém substrátu s nevodivou vrstvou. Aktivní vrstva ZnO byla ve směru osy C vytvořena se silnou preferenční vrtsvou a zároveň s elektrickou resistivitou alespoň 10e8 Ωcm. Horní a spodní elektroda je oddělena izolační vrstvou AL2O3. Ověřená technologie je výsledkem účastníků projektu, viz Konsorciální smlouva o účasti na řešení projektu TN01000015 mezi příjemcem VÚTS, a. s., (IČ 46709002), dalším účastníkem ZČU v Plzni (IČ 49777513) a dalšími 24 subjekty ze dne 16. 5. 2018. David Lávička, Západočeská univerzita v Plzni (IČO 49777513), Nové technologie - výzkumné centrum, Univerzitní 8, 306 14 Plzeň, 377634712, dlavicka@ntc.zcu.cz. Viz odkaz http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/ot/NTC-OTE-20-005.html
Economical parameters
Vyvinutá ověřená technologie umožňuje tyto materiály sériově vyrábět a současně výrazně zlevnit jejich výrobu pomocí optimalizované relativně jednoduché přípravy. Uplatnitelnost vyvinuté ověřené technologie je zaměřena do oblasti miniaturních senzorů a aktuátorů pro robotiku, biomedicínu a IoT apod.
Application category by cost
—
Owner IČO
49777513
Owner name
Západočeská univerzita v Plzni
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/ot/NTC-OTE-20-005.html