Functional Sample of Thin Film Sensor/Actuator
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F20%3A43961286" target="_blank" >RIV/49777513:23640/20:43961286 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/fv/NTC-FVZ-20-006.html" target="_blank" >http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/fv/NTC-FVZ-20-006.html</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Funkční vzorek tenkovrstvého senzoru/aktuátoru
Original language description
Na základě ověřené technologie pro přípravu multivrstvé struktury s naprašovanou ZnO vrstvou, byl vytvořen funkční vzorek FBAR rezonátoru. Ten obsahoval aktivní vrstvu ZnO, která byla optimalizová tak, aby vykazovala silnou preferenční orientaci ve směru osy c a zároveň elektrickou resistivitu alespoň 10e8 Ωcm. Tato hodnota rezistivity, při frekvencích v řádu kHz, zabraňuje stínění. Vrchní a spodní elektroda byla oddělena od piezovrstvy izolační vrstvou AL2O3. Tyto izolační vrstvy zabraňovaly odstínění generovaného napětí volným nábojem z elektrod. Struktura byla připravena na křemíkový substrát pokrytý nevodivou vrstvou, který byl po procesu rozdělen na proužky o tloušťce 5mm. Tímto postupem výroby bylo zamezeno vzniku strukturních vad na hranách jednotlivých vrstev a tedy i ke zkratování zařízení. Jednotlivé rezonátory byl kontaktovány a výsledná rezistivita byl v řádu stovek Ω.
Czech name
Funkční vzorek tenkovrstvého senzoru/aktuátoru
Czech description
Na základě ověřené technologie pro přípravu multivrstvé struktury s naprašovanou ZnO vrstvou, byl vytvořen funkční vzorek FBAR rezonátoru. Ten obsahoval aktivní vrstvu ZnO, která byla optimalizová tak, aby vykazovala silnou preferenční orientaci ve směru osy c a zároveň elektrickou resistivitu alespoň 10e8 Ωcm. Tato hodnota rezistivity, při frekvencích v řádu kHz, zabraňuje stínění. Vrchní a spodní elektroda byla oddělena od piezovrstvy izolační vrstvou AL2O3. Tyto izolační vrstvy zabraňovaly odstínění generovaného napětí volným nábojem z elektrod. Struktura byla připravena na křemíkový substrát pokrytý nevodivou vrstvou, který byl po procesu rozdělen na proužky o tloušťce 5mm. Tímto postupem výroby bylo zamezeno vzniku strukturních vad na hranách jednotlivých vrstev a tedy i ke zkratování zařízení. Jednotlivé rezonátory byl kontaktovány a výsledná rezistivita byl v řádu stovek Ω.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
20501 - Materials engineering
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TN01000015" target="_blank" >TN01000015: National Centre of Competence ENGINEERING</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2020
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
TN01000015/1-V1, NTC-FVZ-20-006
Numerical identification
NTC-FVZ-20-006
Technical parameters
Funkční model FBAR rezonátoru s naprašovanou ZnO multivrstvou na křemíkovém substrátu s nevodivou vrstvou. Aktivní vrstva ZnO byla ve směru osy C vytvořena se silnou preferenční vrtsvou a zároveň s elektrickou resistivitou alespoň 10e8 Ωcm. Horní a spodní elektroda je oddělena izolační vrstvou AL2O3. Funkční vzorek je výsledkem účastníků projektu, viz Konsorciální smlouva o účasti na řešení projektu TN01000015 mezi příjemcem VÚTS, a. s., (IČ 46709002), dalším účastníkem ZČU v Plzni (IČ 49777513) a dalšími 24 subjekty ze dne 16. 5. 2018. David Lávička, Západočeská univerzita v Plzni (IČO 49777513), Nové technologie - výzkumné centrum, Univerzitní 8, 306 14 Plzeň, 377634712, dlavicka@ntc.zcu.cz. Viz odkaz http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/fv/NTC-FVZ-20-006.html
Economical parameters
Vyvinutý a vyrobený funkční vzorek potvrzuje, že je možné tyto materiály sériově vyrábět a současně výrazně zlevnit jejich výrobu pomocí optimalizované relativně jednoduché přípravy. Uplatnitelnost tohoto vyvinutého fukčního vzorku je zaměřena do oblasti miniaturních senzorů a aktuátorů pro robotiku, biomedicínu a IoT apod.
Application category by cost
—
Owner IČO
49777513
Owner name
Západočeská univerzita v Plzni
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/fv/NTC-FVZ-20-006.html