Functional sample of deposition system for coating of hard, anti-abrasive thin films onto substrate of complex geometry
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12310%2F19%3A43899857" target="_blank" >RIV/60076658:12310/19:43899857 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Depoziční systém pro povlakování substrátů komplexních tvarů tvrdými, antiabrazivními vrstvami
Original language description
V rámci řešení projektu byl vyvinut depoziční systém pro pokrývání substrátů komplexních tvarů tvrdými vrstvami; jedná se zejména o povlakování vnitřních povrchů dlouhých trubic o malém průměru. Depoziční systém je založen na odprašovaní duté katody ve vysoce reaktivní atmosféře, kdy je katoda koaxiálně uložena v povlakované trubici. Předkládaný funkční vzorek přináší řešení, která umožňují efektivní povlakování vnitřních částí dutin: (i) optimalizace parametrů výboje a především Larmorova poloměru volných elektronů uvnitř malých dutin, (ii) řešení zapojení elektrického obvodu pro napájení výboje a (iii) způsob dávkování reaktivního plynu pro dosažení stoichiometrie deponované vrstvy. Předložený funkční vzor byl testován pro depozici Cr-a:CH vrstev.
Czech name
Depoziční systém pro povlakování substrátů komplexních tvarů tvrdými, antiabrazivními vrstvami
Czech description
V rámci řešení projektu byl vyvinut depoziční systém pro pokrývání substrátů komplexních tvarů tvrdými vrstvami; jedná se zejména o povlakování vnitřních povrchů dlouhých trubic o malém průměru. Depoziční systém je založen na odprašovaní duté katody ve vysoce reaktivní atmosféře, kdy je katoda koaxiálně uložena v povlakované trubici. Předkládaný funkční vzorek přináší řešení, která umožňují efektivní povlakování vnitřních částí dutin: (i) optimalizace parametrů výboje a především Larmorova poloměru volných elektronů uvnitř malých dutin, (ii) řešení zapojení elektrického obvodu pro napájení výboje a (iii) způsob dávkování reaktivního plynu pro dosažení stoichiometrie deponované vrstvy. Předložený funkční vzor byl testován pro depozici Cr-a:CH vrstev.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
20501 - Materials engineering
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TN01000038" target="_blank" >TN01000038: National centre of competence for Materials, Advanced Technologies, Coatings and their Applications</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2019
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
FVNCK1/JU/2019
Numerical identification
neuveden
Technical parameters
neuveden
Economical parameters
Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
Application category by cost
—
Owner IČO
60076658
Owner name
Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—