Vapour pressure and heat capacities of metal organic precursors, Y(thd)(3) and Zr(thd)(4)

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22340%2F04%3A00011292" target="_blank" >RIV/60461373:22340/04:00011292 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Vapour pressure and heat capacities of metal organic precursors, Y(thd)(3) and Zr(thd)(4)

Original language description

The vapour pressure of two metal organic precursors, Y(thd)(3) [CAS RN: 15632-39-0] and Zr(thd)(4) [CAS RN: 18865-74-2] (thd = 2,2,6,6-tetramethylheptane-3,5-dionate), used for metal organic chemical vapour deposition of high-temperature superconductor layers, was measured by a static method in the technologically important temperature range from 395 to 465 K. The experimental data were fitted by simple two-parameter equation and represent updated values of the present day high-purity materials providing comparison with the previously published data. Heat capacities in the temperature range from 308 to 565 K are also reported.

Czech name

Tlak nasycených par a tepelné kapacity organokovových prekuryorů Y(thd)(3) a Zr(thd)(4)

Czech description

Statickou metodou byl změřen tlak nasycených par dvou organokovových prekurzorů Y(thd)(3) a Zr(thd)(4) (thd = 2,2,6,6-tetramethylheptan-3,5-dionat) v technologicky využitelném rozsahu teplot od 395 to 465 K. Dále byly měřeny tepelné kapacity v rozsahu teplot 395 to 465 K. Oba prekurzory se využívají při výrobě vysokoteplotních polovodičových vrstev metodou chemické depozice z parní fáze. Změřená data, která jsou aktualizací literárních údajů a odpovídají dnešním řádově čistším prekurzorům, byla korelována v závislosti na teplotě jednoduchou dvou parametrovou rovnicí.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

CF - Physical chemistry and theoretical chemistry

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA203%2F04%2F0484" target="_blank" >GA203/04/0484: Accurate measurement of vapour pressure of metal organic precursors</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Journal Cryst.Growth

ISSN

0022-0248

e-ISSN

—

Volume of the periodical

264

Issue of the periodical within the volume

1

Country of publishing house

NL - THE KINGDOM OF THE NETHERLANDS

Number of pages

9

Pages from-to

192-200

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—