Fabrication of glass fluidic microchips

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22340%2F07%3A00018432" target="_blank" >RIV/60461373:22340/07:00018432 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Fabrication of glass fluidic microchips
Original language description
This paper is focused on fabrication of glass microfluidic chips to study electroosmotic flow, which is one of the most important method of liquid transport in microsystems. We have used standard flat glass for micro-fabrication. Flat glass is coated with a thin layer of metal (chromium, gold, etc.). Structures in metal are fabricated using UV-photolithography. Structured metal layer is used as a cover layer in the step of isotropic glass etching. To get the fabricated pieces with microstuctures together low temperature bonding is used after etching. Examples of fabricated glass microfluidic chips are presented.
Czech name
Výroba fluidních mikročipů ze skelných substrátů
Czech description
Tento příspevěk je zaměřen na výrobu skleněných mikrofluidních čipů pro studium elektroosmotického toku, který je důležitou metodou dopravy tekutin v mikrosystému. Pro výrobu je použito standardní tabulové sklo. Jsou použity různé metody výroby.

Project
<a href="/en/project/GD104%2F03%2FH141" target="_blank" >GD104/03/H141: Reaction and transport phenomena in complex homogeneous and heterogeneous systems</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings of 34th International Conference of Slovak Society of Chemical Engineering, 21.-25.5.2007, Tatranské Matliare, Slovenská republika
ISBN
978-80-227-2640-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
6
Pages from-to
—
Publisher name
Slovenská společnost chemického inženýrství
Place of publication
Bratislava
Event location
Tatranské Matliare
Event date
May 21, 2007
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)