Small Series Technology of Sensor Production Using PLD
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22340%2F20%3A43921579" target="_blank" >RIV/60461373:22340/20:43921579 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/68378271:_____/20:00540719
Result on the web
<a href="http://www.tesla-blatna.cz/_soubory/Z_polop_TRIO_MPO_4.pdf" target="_blank" >http://www.tesla-blatna.cz/_soubory/Z_polop_TRIO_MPO_4.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Malosériová technologie výroby senzorů pomocí plasmové depozice
Original language description
Postup výroby chemorezistivních senzorů plynů pomocí vyvinutého zařízení, které pomocí plazmatické depozice nanáší senzitivní vrstvu pro specifickou skupinu plynů na připravenou senzorovou platformu KBS4. Základním materiálem pro depozici je slisovaná tableta směsi práškového acetyl acetonátu cínu (SnAcAc) a oxidu cíníčitého (SnO2). Senzorová platforma je výsledkem předchozích výrobních operací, kde základní operací je depozice platinové vrstvy na Al2O3 keramický substrát. Jde o oboustranný čip, který obsahuje vyhřívání a interdigitální elektrody. Finální operací je pouzdření platformy se senzorovou vrstvou do TO-5 pouzdra.
Czech name
Malosériová technologie výroby senzorů pomocí plasmové depozice
Czech description
Postup výroby chemorezistivních senzorů plynů pomocí vyvinutého zařízení, které pomocí plazmatické depozice nanáší senzitivní vrstvu pro specifickou skupinu plynů na připravenou senzorovou platformu KBS4. Základním materiálem pro depozici je slisovaná tableta směsi práškového acetyl acetonátu cínu (SnAcAc) a oxidu cíníčitého (SnO2). Senzorová platforma je výsledkem předchozích výrobních operací, kde základní operací je depozice platinové vrstvy na Al2O3 keramický substrát. Jde o oboustranný čip, který obsahuje vyhřívání a interdigitální elektrody. Finální operací je pouzdření platformy se senzorovou vrstvou do TO-5 pouzdra.
Classification
Type
Z<sub>polop</sub> - Pilot plant
CEP classification
—
OECD FORD branch
20201 - Electrical and electronic engineering
Result continuities
Project
<a href="/en/project/FV20350" target="_blank" >FV20350: Chemiresistors Based on Nanocomposite Layers for Gas Detection</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2020
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
Technologie senzorů na KBS4
Numerical identification
—
Technical parameters
V rámci projektu byla realizována technologie výroby chemorezistivních senzorů plynů na keramickém substrátu Al2O3 se senzorovou vrstvou deponovanou pomocí vyvinuté aparatury pro plazmatickou depozici. Celý čip je následně pouzdřen do pouzdra TO-5.
Economical parameters
Zavedení nových produktů do výrobního portfolia s cílem zvýšení tržeb a objemu výroby v oblasti senzorů.
Application category by cost
—
Owner IČO
00375306
Owner name
Tesla Blatná, a.s.; VŠCHT Praha; FZÚ AV ČR, v. v. i.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
http://www.tesla-blatna.cz/_soubory/Z_polop_TRIO_MPO_4.pdf