Proven technology for precise fabrication of micro-holes
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60913037%3A_____%2F20%3AN0000007" target="_blank" >RIV/60913037:_____/20:N0000007 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Ověřená technologie precizního zhotovení mikrootvorů
Original language description
Jedná se o technologii precizního zhotovení mikrootvorů pro následnou aplikaci v detekci pohybu/polohy MEMS senzorů s vysokým rozlišením. Tato technologie zajistí dosažení špičkových parametrů.
Czech name
Ověřená technologie precizního zhotovení mikrootvorů
Czech description
Jedná se o technologii precizního zhotovení mikrootvorů pro následnou aplikaci v detekci pohybu/polohy MEMS senzorů s vysokým rozlišením. Tato technologie zajistí dosažení špičkových parametrů.
Classification
Type
Z<sub>tech</sub> - Verified technology
CEP classification
—
OECD FORD branch
20201 - Electrical and electronic engineering
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TH03010205" target="_blank" >TH03010205: MEMS ESO - MEMS sensors with optical scanning</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2020
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
MEMS - OT
Numerical identification
—
Technical parameters
Na základním skleněném substrátu jsou vyvinutou technologií výroby vytvořeny cylindrické mikrootvory. Materiál substrátu SiO2. Průměr otvorů 125/250 μm, 0,5 mm a 1 mm. Maximální odchylka průměru otvorů od požadované hodnoty v celé tloušťce materiálu do ±15 μm.
Economical parameters
Ekonomické přínosy jsou očekávány v oblasti nárůstů tržeb v souvislosti s realizací zakázek zaměřených na prodej precizovaných navazujících optických komponent. V období po ukončení realizace projektu očekáváme roční zvýšení objemu výroby, zisku i exportu.
Application category by cost
—
Owner IČO
60913037
Owner name
SQS Vláknová optika a.s.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—