Characterization of hydrogen contained in passivated poly-Si and microcrystalline-Si by ERDA technique

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389005%3A_____%2F06%3A00032381" target="_blank" >RIV/61389005:_____/06:00032381 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Characterization of hydrogen contained in passivated poly-Si and microcrystalline-Si by ERDA technique

Original language description

Polycrystalline Si (poly-Si) thin films produced by atmospheric pressure chemical vapour deposition (APCVD) were treated by hydrogen passivation in the remote plasma system. Such materials could be potentially used for photovoltaics applications. The purpose of the present study was to investigate the effects of hydrogen passivation on poly-Si thin film properties, such as hall mobility and photoluminescence. Elastic recoil detection analysis (ERDA) was used to determine the depth distribution and concentration of hydrogen. ERDA was also applied to determine the hydrogen content of amorphous/microcrystalline silicon produced by plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) with various dilution ratios of the working gases (H2 and SiH4).

Czech name

Charakterizace vodíku obsaženého ve vrstvách pasivovaného polykrystalického a mikrokrystalického křemíku s použitím metody ERDA

Czech description

Tenké vrstvy polykrystalického křemíku byly připravovány chemickým napařovaním za atmosférického tlaku (APCVD) a byly pasivovány vodíkem v plasmatu. Takové materiály by mohly být perspektivní jako solární články a byl studován vliv pasivace vodíkem na vlastnosti polykrystalických křemíkových vrstev jako např. luminiscence. Metoda elastického dopředného rozptylu ERDA byla použita pro studium distribuce vodíku v připravených vrstvách a dále byla použita pro studium vodíku ve vrstvách mikrokrystalického křemíku připraveného PECVD s různými poměry H2 a SiH4 v pracovním plynu. Byla zjištěna závislost koncentrace vodíku na krystalinitě vrstev.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/LC06041" target="_blank" >LC06041: Preparation, modification and characterization of materials by energetic radiation.</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Surface and Interface Analysis

ISSN

0142-2421

e-ISSN

—

Volume of the periodical

38

Issue of the periodical within the volume

4

Country of publishing house

GB - UNITED KINGDOM

Number of pages

4

Pages from-to

819-822

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—