Experiences with using of Ion Beam Figuring technology at TOPTEC IPP CAS, v. v. i.
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F18%3A00490470" target="_blank" >RIV/61389021:_____/18:00490470 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Zkušenosti s používáním ion beam figuring technologie v TOPTEC
Original language description
Článek představuje v České republice unikátní technologii korektivního leštění iontovým svazkem (IBF) používanou na pracovišti ÚFP TOPTEC. Tato technologie se v poslední době stala zavedenou alternativou k ostatním metodám leštění používaných při výrobě ultra přesné optiky, kde je zejména používána k velmi preciznímu tvarovému korigování sférických, asférických i freeform optických elementů. Leštění iontovým svazkem je založené na ostřelování opracovávaného povrchu proudem urychlených částic, což vede k lokálnímu odstraňování materiálu. Tvarových korekcí je pak dosahováno rastrováním povrchu vhodnou časově modulovanou rychlostí. V presentovaném článku jsou kromě vysvětlení základních principů rovněž uvedeny některé možnosti nastavení zařízení a příklady dosažených výsledků tvarových korekcí, kdy se výsledná tvarová přesnost pohybovala okolo 50 nm PV.
Czech name
Zkušenosti s používáním ion beam figuring technologie v TOPTEC
Czech description
Článek představuje v České republice unikátní technologii korektivního leštění iontovým svazkem (IBF) používanou na pracovišti ÚFP TOPTEC. Tato technologie se v poslední době stala zavedenou alternativou k ostatním metodám leštění používaných při výrobě ultra přesné optiky, kde je zejména používána k velmi preciznímu tvarovému korigování sférických, asférických i freeform optických elementů. Leštění iontovým svazkem je založené na ostřelování opracovávaného povrchu proudem urychlených částic, což vede k lokálnímu odstraňování materiálu. Tvarových korekcí je pak dosahováno rastrováním povrchu vhodnou časově modulovanou rychlostí. V presentovaném článku jsou kromě vysvětlení základních principů rovněž uvedeny některé možnosti nastavení zařízení a příklady dosažených výsledků tvarových korekcí, kdy se výsledná tvarová přesnost pohybovala okolo 50 nm PV.
Classification
Type
J<sub>ost</sub> - Miscellaneous article in a specialist periodical
CEP classification
—
OECD FORD branch
20302 - Applied mechanics
Result continuities
Project
<a href="/en/project/LO1206" target="_blank" >LO1206: Modern optical systems and technologies</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Others
Publication year
2018
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Jemná mechanika a optika
ISSN
0447-6441
e-ISSN
—
Volume of the periodical
63
Issue of the periodical within the volume
2
Country of publishing house
CZ - CZECH REPUBLIC
Number of pages
3
Pages from-to
65-67
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—