Attaining surface homogeneity in the deposition of complex layer systems
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F18%3A00494421" target="_blank" >RIV/61389021:_____/18:00494421 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Zajištění plošné homogenity při depozici složitých systémů vrstev
Original language description
V této zprávě popisujeme postup optimalizace depozice interferenčního filtru s cílem dosáhnout homogenní tloušťky vrstvy na co největším rozsahu deponované plochy. Za použití depoziční masky a rotace depoziční kaloty dosahujeme homogenity ± 0.5% pro vzorky do průměru 5 cm. Zkoumáme poté vliv naklonění substrátu a depozici na zakřivený povrch čočky na homogenitu deponované vrstvy.
Czech name
Zajištění plošné homogenity při depozici složitých systémů vrstev
Czech description
V této zprávě popisujeme postup optimalizace depozice interferenčního filtru s cílem dosáhnout homogenní tloušťky vrstvy na co největším rozsahu deponované plochy. Za použití depoziční masky a rotace depoziční kaloty dosahujeme homogenity ± 0.5% pro vzorky do průměru 5 cm. Zkoumáme poté vliv naklonění substrátu a depozici na zakřivený povrch čočky na homogenitu deponované vrstvy.
Classification
Type
O - Miscellaneous
CEP classification
—
OECD FORD branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Result continuities
Project
<a href="/en/project/LO1206" target="_blank" >LO1206: Modern optical systems and technologies</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Others
Publication year
2018
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů