Convergence properties of crytical dimension measurements by spectroscopic ellipsometry on gratings made of various materials
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989100%3A27350%2F07%3A00016662" target="_blank" >RIV/61989100:27350/07:00016662 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Convergence properties of crytical dimension measurements by spectroscopic ellipsometry on gratings made of various materials
Original language description
Convergence properties of crytical dimension measurements by spectroscopic ellipsometry on gratings made of various materials
Czech name
Konvergenční vlastnosti měření kritických rozměrů mřížek z různých materiálů pomocí spektroskopické elipsometrie
Czech description
Konvergenční vlastnosti měření kritických rozměrů mřížek z různých materiálů pomocí spektroskopické elipsometrie
Classification
Type
C - Chapter in a specialist book
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/GA202%2F06%2F0531" target="_blank" >GA202/06/0531: Reflection and waveguiding effects in magnetic nanostructures</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Others
Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Book/collection name
Annual Proceeding of Science and Technology at VŠB-TUO
ISBN
978-80-248-1662-3
Number of pages of the result
4
Pages from-to
1-5
Number of pages of the book
—
Publisher name
VŠB-Technical University of Ostrava
Place of publication
Ostrava
UT code for WoS chapter
—