Total internal reflection ellipsometry of lamellar gratings

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989100%3A27600%2F06%3A00013524" target="_blank" >RIV/61989100:27600/06:00013524 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Total internal reflection ellipsometry of lamellar gratings

Original language description

The total internal reflection ellipsometry on the base of coupling prism is described. The problem is solved by Fourier modal method applied using T-matrix algorithm to find diffraction response from multilayer system. Resulting values of ellipsometric parameters &#8710; and &#968; are studied at the incidence angle interval from 0 to 90 deg for dielectric and metallic lamellar systems. The material influences of the thin air gap thickness are discussed, too.

Czech name

Elipsometrie při úplném odrazu na lamelární mřížce

Czech description

Je popisována elipsometrie při úplném vnitřním odrazu na principu vazebního hranolu. Úloha je řešena Fourierovou modální metodou aplikací T-maticového algoritmu při určení difrakční odezvy od multivrstvy. Výsledné hodnoty elipsometrických úhlů jsou studovány pro úhly dopadu od 0 do 90 stupňů pro dielektrické i metalické lamelární systémy. Rovněž je studován vliv materiálových vlastností a tloušťky gapu.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

International Journal of Microwave and Optical Technology

ISSN

1553-0396

e-ISSN

—

Volume of the periodical

1

Issue of the periodical within the volume

2

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

4

Pages from-to

910-913

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—