Influence of tilted surfaces on spatial coherence profilometry

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F07%3A00007699" target="_blank" >RIV/61989592:15310/07:00007699 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Influence of tilted surfaces on spatial coherence profilometry
Original language description
Spatial coherence profilometry is a method for measurement of the geometrical shape of objects. In this method, a Michelson interferometer illuminated by a monochromatic spatially extended light source is used. The measured object replaces one of the interferometer mirrors. Due to the spatial coherence a correlogram arises at the output of the interferometer that is used for the measurement of the geometrical shape of objects. Thus spatial coherence profilometry provides an analogy to white-light interferometry. In this paper, the influence of a tilted surface on the measured results is investigated.
Czech name
Vliv skloněných povrchů na profilometrii s prostorovou koherencí
Czech description
Profilometrie s prostorovou koherencí je metoda pro měření geometrického tvaru předmětů. V této metodě se používá Michelsonův interferometr osvětlený plošným monochromatickým zdrojem světla. Měřený předmět nahrazuje jedno ze zrcadel interferometru. Vlivem prostorové koherence vznikne na výstupu interferometru korelogram, který se využívá pro měření geometrického tvaru předmětů. Profilometrie s prostorovou koherencí tvoří tedy analogii interferometrie v bílém světle. V tomto příspěvku je zkoumán vliv skloněného měřeného povrchu na výsledky měření.

Project
<a href="/en/project/1M06002" target="_blank" >1M06002: Optical structures, detection systems and relevant technologies for low photon number applications</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Optické struktury, detekční systémy a související technologie pro nízkofotonové aplikace
ISBN
978-80-244-1844-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
6
Pages from-to
—
Publisher name
Univerzita Palackého
Place of publication
Olomouc
Event location
—
Event date
—
Type of event by nationality
—
UT code for WoS article
—

Similar results(10)