Local anodic oxidation on silicon wafer
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F12%3A33139088" target="_blank" >RIV/61989592:15310/12:33139088 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Lokální oxidační litografie na křemíkovém waferu
Original language description
Lokální anodická oxidace je metoda umožňující změnu povrchu (polo)vodivého vzorku za běžných laboratorních podmínek. Jediným požadavkem na prostředí je zvýšená relativní vlhkost vzduchu v blízkém okolí vzorku. Velikost oxidační stopy je ovlivněna především ostrostí použitého hrotu, ale i dalšími parametry. Výška stopy a její spojitost je nepřímo závislá na rychlosti posuvu hrotu při zápisu. Ukazuje se, že samotné nastavení podmínek systémiu je méně problematické než vzorek samotný. V případě křemíkovéhomateriálu dochází k vytváření nativní oxidační vrstvy na povrchu materiálu. Tím je znemožněna tvorba další oxidační stopy.
Czech name
Lokální oxidační litografie na křemíkovém waferu
Czech description
Lokální anodická oxidace je metoda umožňující změnu povrchu (polo)vodivého vzorku za běžných laboratorních podmínek. Jediným požadavkem na prostředí je zvýšená relativní vlhkost vzduchu v blízkém okolí vzorku. Velikost oxidační stopy je ovlivněna především ostrostí použitého hrotu, ale i dalšími parametry. Výška stopy a její spojitost je nepřímo závislá na rychlosti posuvu hrotu při zápisu. Ukazuje se, že samotné nastavení podmínek systémiu je méně problematické než vzorek samotný. V případě křemíkovéhomateriálu dochází k vytváření nativní oxidační vrstvy na povrchu materiálu. Tím je znemožněna tvorba další oxidační stopy.
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
JJ - Other materials
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Others
Publication year
2012
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Jemná mechanika a optika
ISSN
0447-6441
e-ISSN
—
Volume of the periodical
57
Issue of the periodical within the volume
7-8
Country of publishing house
CZ - CZECH REPUBLIC
Number of pages
4
Pages from-to
202-205
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—