Device to form thin deposition layers by means of low-pressure plasma
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F16%3A33161732" target="_blank" >RIV/61989592:15310/16:33161732 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0029/uv029907.pdf" target="_blank" >http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0029/uv029907.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Zařízení k vytváření tenkých depozičních vrstev pomocí nízkotlakého plazmatu
Original language description
Podstatou užitného vzoru je technologické řešení depozice nanokompozitních materiálů ve formě tenkých vrstev a implantovaných klastrů. Vakuový systém kombinuje zdroj klastrů, depoziční zdroj a ECWR zdroj. Deponované materiály vykazují vysokou adhezi a kohezi k substrátu a jsou použity především pro optické aplikace.
Czech name
Zařízení k vytváření tenkých depozičních vrstev pomocí nízkotlakého plazmatu
Czech description
Podstatou užitného vzoru je technologické řešení depozice nanokompozitních materiálů ve formě tenkých vrstev a implantovaných klastrů. Vakuový systém kombinuje zdroj klastrů, depoziční zdroj a ECWR zdroj. Deponované materiály vykazují vysokou adhezi a kohezi k substrátu a jsou použity především pro optické aplikace.
Classification
Type
F<sub>uzit</sub> - Utility model
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TA04011156" target="_blank" >TA04011156: Functional thin film optical structures.</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2016
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Patent/design ID
29907
Publisher
CZ001 -
Publisher name
Industrial Property Office
Place of publication
Prague
Publication country
CZ - CZECH REPUBLIC
Date of acceptance
—
Owner name
Univerzita Palackého v Olomouci
Method of use
A - Výsledek využívá pouze poskytovatel
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence