Equipment for measuring and controlling the homogeneity of the ionic energy distribution function and the size of ion fluxes on the substrate during the deposition of dielectric optical thin films
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F21%3A73606740" target="_blank" >RIV/61989592:15310/21:73606740 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0034/uv034937.pdf" target="_blank" >https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0034/uv034937.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Zařízení pro měření a řízení homogenity iontové energetické distribuční funkce a velikosti toků iontů na substrát při depozici dielektrických optických tenkých vrstev
Original language description
Nové technické řešení iontové sondy umožňuje měření iontové distribuční funkce a její prostorové homogenity i v depozičním reaktivním plazmatu, kdy jsou komponenty sondy pokryty dielektrickou vrstvou.
Czech name
Zařízení pro měření a řízení homogenity iontové energetické distribuční funkce a velikosti toků iontů na substrát při depozici dielektrických optických tenkých vrstev
Czech description
Nové technické řešení iontové sondy umožňuje měření iontové distribuční funkce a její prostorové homogenity i v depozičním reaktivním plazmatu, kdy jsou komponenty sondy pokryty dielektrickou vrstvou.
Classification
Type
F<sub>uzit</sub> - Utility model
CEP classification
—
OECD FORD branch
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TH03020245" target="_blank" >TH03020245: Combined acousto-mechanoscopic methods / devices for determination of durability of progressive nanocomposite materials and thin films under simulated operational loads</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2021
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Patent/design ID
34937
Publisher
CZ001 -
Publisher name
Industrial Property Office
Place of publication
Prague
Publication country
CZ - CZECH REPUBLIC
Date of acceptance
—
Owner name
Univerzita Palackého v Olomouci
Method of use
A - Výsledek využívá pouze poskytovatel
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence