Hydrogen Related Point Defects in Silicon Based Layers: Si(.)H and SiOOH

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F67985858%3A_____%2F06%3A00049465" target="_blank" >RIV/67985858:_____/06:00049465 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Hydrogen Related Point Defects in Silicon Based Layers: Si(.)H and SiOOH
Original language description
Layers prepared by pulsed TEA CO2 pulsed laser ablation (PLA) of SiO and SiO2 targets in helium were exposed to hydrogen and deuterium atmosphere up to several kPa. The deposited layers were investigated by FTIR, EPR and XP spectroscopy. Among various Sispecies silyl radical Si(.)H (Si(.)D) at 2166 (1568) cm-1?H(I) center?and silyl hydroperoxide SiOOH (SiOOD) at 3587 (2648) cm-1 were identified in FTIR spectra. Chemical pathways for production of these species are discussed. Experimental results are supported by quantum chemical calculations.
Czech name
Vodíkové bodové poruchy ve vrstvách s obsahem křemíku
Czech description
Vrstvy připravené pulsní TEA CO2 laserovou ablací SiO a SiO2 terčíků v heliu byly vystaveny vodíkové a deuteriové atmosféře o tlaku až několika kPa. Deponované vrstvy byly měřeny pomocí FTIR, EPR a XP spektroskopie. Mezi různými křemíkovými speciemi bylyv FTIR spektrech identifikovány silylový radikál Si(.)H (Si(.)D) u 2166 (1568) cm-1?H(I) centrum - a silyl hydroperoxid SiOOH (SiOOD) u 3587 (2648) cm-1. Byly diskutovány chemické procesy vedoucí ke tvorbě těchto specií. Experimentální výsledky jsou podpořeny kvantově mechanickými výpočty.

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
CF - Physical chemistry and theoretical chemistry
OECD FORD branch
—

Project
<a href="/en/project/1ET400400413" target="_blank" >1ET400400413: Development of a program environment for mathematic simulations and predictions in catalysis and electrocatalysis</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)