Study of Mechanical Properties of Metallic Surface Layers on Silicon Substrates

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081723%3A_____%2F07%3A00094366" target="_blank" >RIV/68081723:_____/07:00094366 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/68081731:_____/07:00094366
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Study of Mechanical Properties of Metallic Surface Layers on Silicon Substrates
Original language description
The mechanical properties of metallic thin films deposited on silicon by magnetron sputtering and Thermoionic vacuum arc were studied using two different type of indentation methods - the depth sensing indentation test (DSI) and the continuous stiffnessmeasurement method (CSM).
Czech name
Studium mechanických vlastností kovových vrstev na křemíkové podložce
Czech description
Mechanické vlastnosti tenkých kovových vrstev deponovaných na křemíkovou podložku magnetronovým naprašováním a termoionickým vakuovým obloukem byly studovány použitím dvou různých indentačních metod DSI a CSM.

Project
<a href="/en/project/KAN311610701" target="_blank" >KAN311610701: Nanometrology using methods of scanning probe microscopy</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Nano'07 - 6th International Conference on Nanosciences and Nanotechnologies in the Czech Republic
ISBN
978-80-214-3460-8
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
1
Pages from-to
54
Publisher name
CSNMT
Place of publication
Brno
Event location
Brno
Event date
Oct 8, 2007
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)